质谱深度分析是从样品表层自浅而深逐层检测元素组成和浓度分布的一种二次离子质谱分析法。将仪器调定在检测特定的二次离子条件下，利用高能量一次离子束的剥蚀作用，记录二次离子强度随剥蚀时间的变化关系，通过适当校正后得到元素浓度随深度的分布。要获得精确的元素浓度与深度的分布曲线，必须实现均匀剥蚀，常用方法为：①均匀离子束法(适当选择物镜电位和会聚透镜电位实现）；②透镜控制法（改变会聚透镜中，间电极电位）；③一次离子束扫描法；④扫描静止法（先用一次离子束进行大面积扫描，然后把离子束静止于样品中央区）。
答：动态离子质谱分析是一次离子束对样品表面不断剥离状态下进行的二次离子质谱分析法。在高真空（1×10-8pa以上）、高能量（几个keV至20keV)和强束流密度(5...详情>>
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