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动态离子质谱分析是检测什么的重要分析方法呢？

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动态离子质谱分析是检测什么的重要分析方法呢？

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    2016-08-13 12:07:09 
  • 动态离子质谱分析是一次离子束对样品表面不断剥离状态下进行的二次离子质谱分析法。在高真空（1×10-8pa以上）、高能量（几个keV至20keV)和强束流密度(5—50mA/cm2)的一次离子束轰击样品表面，每秒钟可剥掉表面几个原子层（最大剥离速率约5μm/h)，因而获得的信息并非来自表面单层原子。它一般只用作元素分析，可检测低于l×10-9g的痕量元素和分析样品成分随深度的变化规律。已成为半导体工业中检测痕量元素的重要分析方法。

    杨***

    2016-08-13 12:07:09

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