414是哪里出问题了？真空镀膜机离子源-414是哪里出问题了、爱问知识人

414是哪里出问题了？

真空镀膜机离子源-414是哪里出问题了、

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阴极放电一般用氩气，也有用氧气的，但是氩气是主流，用来产生离子，真空室内通的气体，一般根据镀材不同选择也不同，氧化物需要保持其氧化程度的，通氧气，同理氮气用来做氮化物。如果不希望镀材反应，就通惰性气体。

2014-11-23 11:21:22

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