耐久性;成本;清洗。 耐久性 无尘室要有符合环境、无尘室内部的清洗溶液及振动、设备、空气过滤系统的耐久材料。而耐久性,同时也依赖无尘室等级来建造。半导体 Fabs 倾向选择铝,基于它的耐久性,然而,它不是便宜的物质。 清洗 在制药和生物工学工业,无尘室的墙壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止滤过性病毒或细菌的污染之特性。在 biotech 市场,清洗真正地是一个最重要的企业。 成本 微电子 C/R 建设费可能花费到亿。fab 能更快的被建造起来,产品也就能更快达到这市场。许多半导体公司的口号是较便宜和较好的。然而 "钱" 将成为一个很重要的考虑因素。