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光刻机极紫光是怎么产生的

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光刻机极紫光是怎么产生的


        

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  • 2023-08-24 23:00:00

    光刻机极紫外光是通过准分子激光轰击锡滴产生的。

    EUV光刻机的极紫外光指的是13.5纳米波长的极紫外光,这是光刻机核心部件之一。将锡加热到极高的温度,原子就会分解成自由电子和带电荷不同的正电离子。这些离子中的许多离子都处于激发状态。其中一个或多个轨道上的电子有一部分额外的能量。这些电子在离原子核较近的轨道上绕着比最近的轨道更远的轨道旋转。当它们返回到离原子核更近的轨道上时,这部分额外的能量就会以EUV辐射的形式释放出来,这些EUV辐射就是13.5纳米波长的极紫外光。

    姜***

    2023-08-24 23:00:00

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