四氣化硅锌还原法的主要问题是沾污问题。沾污主要来自两个方面,一个是锌的沾污,另 一个是生产出的硅与石英舟壁接触,石英舟中的杂质会在高温下向硅晶体中扩散与游离,从而 造成产品的沾污。一般认为,只要还原炉内的温度较高,锌就可以保持为气态而易于与产品分离,因此,锌 的沾污就可以不加考虑。但温度过高会加大石英舟中杂质向硅晶体中的扩散与游离,从而将加 大氧杂质的沾污程度。因此,还原温度还要选择适当为宜。四氣化硅锌还原法的另一个问题是二氣化锌回收利用的问题,也就是二氣化锌的熔融电解 的问题。目前二氣化锌的熔融电解在国内还是较难的,国内还没有厂家能够提供现成的设备和 技术,所以还得要我们自己去自行研制。简单地说,四氣化硅锌还原法就是让四氣化硅与金属锌发生化学还原反应,从而生产出多晶硅的方法。
答：用三铽氢硅和四諷化硅混合源生产多晶硅的方法,是一项中国发明专利,涉及一种全新的氢 还原生产多晶硅的工艺。首先,在的干燥惰性气体保护下对三氣氢硅、四氣化硅进行精炼...详情>>
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