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半导体工业中的最小线宽指的是FET中源极到漏极的距离么?

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半导体工业中的最小线宽指的是FET中源极到漏极的距离么?

半导体工业中的最小线宽指的是FET中源极到漏极的距离么?也就指的是栅极的宽度? 最小线宽就是常说的CPU的制程。那也就是说线宽=源极到漏极距离=栅极宽度?

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  • 2013-11-19 13:34:41
    MOS工艺中最小线宽又叫特征尺寸,在设计时,常指的是MOSFET的栅极的长度L,理论上来说,栅极的长度就是它所控制的沟道长度(即漏极与源极之间的距离),但实际上,由于在源极与漏极进行掺杂时存在横向扩散,所以L其实是导电沟道的长度,在标准MOS工艺中,往往栅极会把沟道整个盖住,所以栅长是比沟道长度稍大一些的。

    D***

    2013-11-19 13:34:41

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