改良西门子法生产多晶硅排出的四氯化硅怎么治理?
改良西门子法生产多晶硅排出的四氯化硅怎么治理?
目前的改良西门子法生产多晶硅排出的四氯化硅,大多是用来生产白炭黑或用来加氢生产 出三氯氢硅,再用于多晶硅生产。但白炭黑的市场小,用量少,无法消耗这么多的四氯化硅; 加氢生产三氣氢硅,耗能太大,成本过高,也不是理想之举。四氣化硅是生产石英玻璃和光纤 的原料,但石英玻璃和光纤也存在市场小、用量少的问题。
其实,四氯化硅就是生产多晶硅的 原料。四氯化硅氢还原法生产多晶硅是很成熟的技术,只不过,生产的速度比改良西门子法慢 一些,但它安全、可靠。因此,完全可以再次用于生产多晶硅。其具体方法可参见“三氯氢硅 和四氯化硅混合源法”和 “一种没有四氯化硅排放的多晶硅的生产法”两项中国发明专利。
以四氯化硅为原料生产多晶硅有两种方法,除了四氣化硅氢还原法外,还有四氣化硅锌还 原法。四氯化硅锌还原法也是历史上比较成熟的方法,只是生产的多晶硅是针状。这种合格的 多晶硅也可以通过直拉单晶炉拉制成为棒状的单晶硅。四氣化硅是重要的化工产品,除了上述的用途外,它还是生产有机硅的原料,而且它水解 后生成的二氧化硅是生产玻璃不可缺少的原料。
问题是,怎样来搞好四氯化硅的综合利用,使 四氣化硅变废为宝。
答:四氯化硅的用途有以下几种。(1) 四氣化硅是制备多晶硅的重要原料。在多晶硅生产中,是利用氢气将纯净的四氣化硅带人还原炉内,使四氯化硅与氢气发生还原反应。也就是说...详情>>
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