影响SF6气体击穿电压的因素如下。(1) 电场的均匀性。SF6的击穿电压在均匀性不同的电场中差异较大。在均匀电场中，SF6的击穿电压比在极不均勻电场中大，而这种影响远比空气大得多。(2) SF6的工作压力。提高SF6的工作压力是提高SF6击穿电压的途径之一，但工作压力也不能过高，否则SF6会液化。同时还应注意，SF6的击穿电压有随气压增高而趋于饱和现象，电场越不均勻越容易饱和。因此只有在保证SF6被液化，并保证电场相当均匀的条件下提高SF6工作压力才最为有效。(3) SF6气体为不纯物。SF6中混有空气、氮气等不纯气体或导电微粒时，则可显著降低其绝缘能力。SF6气体的导电微粒受电场作用而移动，逐步形成“导电小桥”，从而导致击穿电压下降。(4) 电极表面。随着电极表面积的增大，SF6的击穿电压下降。电极表面越粗糙，则击穿电压越低。经过多次放电处理后的电极表面比较光滑，击穿电压有增高的趋势。
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