共焦传感器是纳米位移计吗?
共焦传感器是纳米位移计吗?
一般来说是的,NLS11/NLS12纳米级位移计
传感器测量系统基于光谱共焦原理,由光学头和控制器组成,之间通过一根光缆连接。
该款传感器进行了小型化的封装,便于集成到现有的系统中。
量 程: 1mm
分辨率: 20nm
重复性: ≤15nm
频 响: 16~1000Hz
应用:
应用于表面难以测量的物体(技术性及困难表面),是一种非接触式轮廓测量的通用的测量解决方案。理想情况下,传感器适合于敏感的,软的或液体的表面。适用于微机械工程,电气工程,光学行业,塑料和造纸行业,半导体和PCB产业的检测,工具行业等。