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多晶硅合成的化学式

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多晶硅合成的化学式


        

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  • 2023-08-18 09:00:00

    多晶硅

    其以NaAlH 与SiF 为原料制备硅烷,反应式如下:SiF+NaAlH=SiH+NaAlF。硅烷经纯化后在流化床式分解炉中进行分解,反应温度为730℃左右,制得尺寸为1000微米的粒状多晶硅。

    该法能耗低,粒状多晶硅生产分解电耗为12kW·h/kg左右,约为改良西门子法的1/10,且一次转化率高达98%,但是产物中存在大量微米尺度内的粉尘,且粒状多晶硅表面积大,易被污染,产品含氢量高,须进行脱氢处理。

    多晶硅合成的化学式

    Si(s)+3HCl(g) == SiHCl3(g)+H2(g)

    伴随的副反应有:Si(s)+4HCl(g) == SiCl4(g)+2H2(g)

    SiCl4(g)+H2(g) == SiHCl3(g)+HCl(g)

    SiHCl3(g)+H2(g)== == Si(s)+3HCl(g) (反应条件:1050°C~1100°C)

    我***

    2023-08-18 09:00:00

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