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通常洁净室的送风量,应取以下3项中的更大值:为保证空气洁净度等级的送风量;根据热、湿负荷计算确定的送风量;向洁净室内的供给的新鲜空气量。而新鲜空气量应取下列2项中的更大值:补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和;保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
除上述控制污染源、减少污染发生量来防止微粒污染洁净室,空气净化处理的方法如控制室内的压力,可以有效阻止室外污染室内或防止室内污染逸出室外。并用合理的气流组织有效排除室内发生的污染。这几种途径又均与净化系统的风量(风速)或换气次数有关。
洁净室设计采用环氧树脂自流平涂地面、金属彩钢壁板比采用其它几种建筑材料产生的尘埃数少。因此,从人员控制、厂房设计两方面考虑,可以降低洁净室中尘埃粒子的数量。洁净室是一个对换气次数、静压差、温度、湿度、照度等都有要求的综合体。