对于工件的内部与表面有良好的保护作用。普通热处理炉在进行加热时会是金属表面进行氧化,从而影响工件的精度,并且力学性能也会下降。而真空热处理炉在进行处理时金属是在一定的真空度下加热,工件避免了与氧气接触,工件没有氧化,无脱碳,可以得到光亮的表面及较好的热处理质量。可减少工件含金元素挥发性。热处理能在可控气氛下加热和真空淬火,从而减少了工件含金元素挥发性,保证了工件的热处理质量。热处理几乎可实现全部热处理工艺,如淬火、退火、回火、渗碳、氮化,在淬火工艺中可实现气淬、油淬、硝盐淬火、水淬等,还可以进行真空钎焊、烧结、表面处理等。真空热处理炉热效率高,可实现快速升温和降温,可实现无氧化、无脱碳、无渗碳,可去掉工件表面的磷屑,并有脱脂除气等作用,从而达到表面光亮净化的效果。一般来说,被处理的工件在炉内加热缓慢,内热温差较小,热应力小,因而变形小。产品合格率高。