自元代开始，中国出现了一种新的行政区划制度，其最高一级的行政区划单位为行省(简称为省)，因此称为行省(省)制时期。此时期从13世纪后期至20世纪初，历经元、明、清三代。
省名起源甚早，魏晋时期已有尚书省、中书省之称，然皆为中枢要署，不直辖地方。隋文帝于开皇八年(588年)伐陈，曾置淮南行省于寿春，但不久即废。金入主中原之初，曾出现过行省制度，在外地设立行尚书省，但为时短暂。
蒙古人兴起之后，仿金实行行省制度。元世祖一方面将尚书省并为中书省，总理朝政另一方面，在地方设立若干行中书省，作为朝廷中书省在外地的代理机构。它最初是一种临时设置，并只管军事，后演变为兼管民政，其长官也由中央官吏演变为地方官吏。其间从伐金到灭宋，历经70余年，平宋以后成了元朝的行政区划单位 。
蒙古在太宗三年(1231年)即灭金的前三年，始立中书省，以著名的政治家、地理学家耶律楚材为中书令。入主中原后于宪宗初年(1251年)，在燕京等处置设行尚书省。
中统初年(1260年)，元世祖忽必烈改置行中书省，其后屡屡增多，但是一直到元贞年间(1295—1296年)行省的设置和辖区还都很不固定，即在忽必烈统一中国(1279年)后的20年中行省制并未固定下来，直到13世纪末、14世纪初的元成宗时期才开始固定，逐步形成元代省制行政区划。
行政单位最早起源于哪个部门
省最初是指宫禁之地，魏晋时成为中央政府机关的名称，金代开始有了“行省”，它是中央尚书省的临时派出机关。元代省成为正式的一级地方行政区划。
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