电子洁净实验室是研制精密电子元件不可缺少的工作室。 按研究条件要求，洁净室必须是封闭的。由于在实验过程中，要使 用丙酮、丁酮及乙醇等易挥发的易燃液体，有的实验还要求通人大 量氢气，容易形成爆炸性混合物，遇到明火会导致着火或爆炸，故 危险性较大。
电子洁净实验室的主要防火措施如下。(1) 电子洁净室应采用一、二级耐火等级的建筑，隔墙和内部 装修材料尽可能采用不燃材料。(2) 电气设备应采用防爆型，电热器具应用密封式，并且置于 不燃的基座上，要配备蓄电池等事故电源，出入口或者拐弯处要设 安全疏散指示灯。
(3) 气体钢瓶应放置在安全地点，不宜集中储放在洁净室内。 用量少的小型钢瓶（如磷烷、硅烷等气体）最好放于专用橱柜中， 不能随意存放。洁净室内使用的易燃液体、可燃气体，以及氧化 剂、腐蚀剂等化学危险品，其管理方法相同于化学实验室。使用易 燃液体和气体的洁净室，还应安装排风设备。
(4) 洁净室应立足于火灾自救，设置比较完善的消防设施。有 贵重、高精仪器、仪表及电气设备的洁净室，应设置二氧化碳自动 灭火系统，在便于通行的位置（如走廊）应设紧急报警按钮或电话 等，以便和外部联系。(5) 加强对洁净室研究、实验人员的防火安全教育，制定安全 管理制度及各种设备的安全操作规程；要求研究、实验人员会用灭 火器材、会报火警、会自救及会逃生。
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