多晶硅和石英玻璃的联合制备法的优点主要是节能、环'保、设备费用少、基建投资少、与 氣碱工业联合可以帮助解决平衡问题和污染问题以及可以解决电子工业材料(多晶硅)的瓶颈 问题六大项。下面就来具体谈谈这六大优点。(1)节能。“多晶硅和石英玻璃的联合制备法”生产是连续的,设备是串联的,热能是充分利用的,其生产过程没有反复升降温的现象,因此可以节能,而且节能的数字是相当可 观的。
采用传统的单项生产法生产多晶硅,还原料从鼓泡器里出来后被送进还原炉。在炉内,还 原料被加热到1050〜1250°C 的高温,发生氢还原反应,生成多晶硅。采用这种生产法,进人 还原炉的还原料只有少数(一般认为10%〜20%)参加反应,生成多晶硅,绝大多数被当成 尾气放出来。
最初,这些尾气被当成废气放掉。这些尾气里有大量氢气和四氣化硅。获得这样 多氢气和四氣化硅是需要付出很大代价的。为避免浪费,人们把尾气中的氢气和四氯化硅回 收,经净化提纯后再利用。这样一来,这些出来的髙温料,需要进入由冷冻分离器和氢气回收 组成的回收系统回收。
在回收系统里,还原料被冷冻降温至四氯化硅的沸点(57。 6°C ) 之下, 一般认为应在38〜40°C 为好。如按还原料在还原炉里的低限温度1050°C ,降温后的上限40°C 计算,也要降温左右。问题是,这回收后40°C的常温还原料要重新被送人鼓泡器里, 然后通进还原炉,再次被加热到1050〜1250°C 的高温。
答：多晶硅与石英玻璃的联合制备法,就是多晶硅与石英玻璃一起生产,既生产多晶硅又生产 石英玻璃,生产石英玻璃的原料就是多晶硅生产排放的废弃物(尾气),是一种变废为宝的...详情>>
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