多晶硅切片工艺流程
具体如下工艺步骤:
(1)、打开电源启动线切割机
(2)、检查线网是否有跳线,检查导线轮是否损伤,确认放收线轮上的钢线
余量够切,检查砂浆供给、喷嘴、工件装置
(3)、横移架的位置是否校正
(4)、将多晶硅锭固定于截断设备上,截除多晶硅锭顶部的杂质层
(5)、从硅锭上截除出硅锭的顶部低少子寿命部分和底部低少子寿命部分
(6)、将硅锭固定于开方机台,对硅锭进行开方,并截除硅锭四周的杂质层
(7)、开方得到的硅块,经过清洗检测后便是可用于切片的成品硅棒
(8)、准备完毕后看是否还有报警信息存在
(9)、进入主画面,检查一遍。
2、如权利要求1所述的一种多晶硅片的切片作业工艺,其特征在于:在切
割过程中观察机器运行状况,线张力控制在21N左右,平均进给为0.32mm/min。
3、如权利要求1所述的一种多晶硅片的切片作业工艺,其特征在于:在切
割过程中控制平均线速范围540m/min,砂浆流量75L/min,砂浆温度控制在
25℃,砂浆每2刀一循环(约230KN),主辊每35/40刀更换一次(约
140/160小时)。
4、如权利要求1所述的一种多晶硅片的切片作业工艺,其特征在于:步骤
(4)和(5)中,利用带锯截断,在截除完顶部杂质层之后,分别截除顶部
低少子寿命部分和底部低少子寿命部分。
5、如权利要求1所述的一种多晶硅片的切片作业工艺,其特征在于:步骤
(4)和(5)中,利用线截断,截除完顶部杂质层的同时截除顶部低少子
寿命部分和底部低少子寿命部分。
答:详情>>
问:总是自责正常吗?我现在是一个高中生,不知道从何时起,我学会了自责,每当我花父母一...
答:li660912同学: 您好!您有这样的想法非常好,说明您知道父母为了您成长的辛苦和劳累。呵呵,有这样的心理,我想您一定会在学习上下苦功夫,以优异的成绩来回报父...详情>>
问:乙肝病毒携带者有传染性吗??乙肝五项:1、4、5、阳性 肝功正常 HBV检测:8...
答:我也是跟你一个样的!但是不要慌张,现在我们国家对我们已经放宽了政策,并保护我们的隐私…我们可以考公务员,在一般的工作单位不要求检查这个!日常生活中应该注意锻炼,...详情>>