中文名单晶炉外文名monocrystalfurnace类别工业炉1单晶炉的构成2单晶炉的定义3购买技术主要要求4单晶炉型号定义5单晶炉主要需要控制的方面6单晶炉热场的设计与仿真单晶炉单晶炉的构成编辑提拉头：主要由安装盘减速机籽晶腔划线环电机磁流体籽晶称重头软波纹管等其他部件组成副室：主要是副室筒以及上下法兰组成炉盖：副室连接法兰，翻板阀，观察窗抽真空管道组成炉筒：包括取光孔下炉筒：包括抽真空管道底座机架：全铸铁机架和底座坩埚下传动装置：主要由磁流体电机坩埚支撑轴减速机软波纹管立柱上下传动支撑架导轨等部件组成分水器已经水路布置：包括分水器，进水水管，若干胶管水管卡套等氩气管道布置：质量流量计3根以上的柔性管不锈钢管3个压力探测器高密封性卡套等部件真空泵以及真空除尘装置：油压真空泵水环真空泵过滤器真空管道硬波纹管等电源以及电控柜：电源柜滤波柜控制柜以及连接线单晶炉单晶炉的定义编辑单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
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