扩散泵油-80的真空镀膜机刚换的扩散泵油抽速还是很慢，是不是油加少了呢？请? 爱问知识人

是不是油加少了呢？

80的真空镀膜机刚换的扩散泵油抽速还是很慢，是不是油加少了呢？请哪位师傅指点一下谢谢！

G***

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1，真空室与扩散泵阀门密封不好，油返到真空室然后因为高温被干燥了。看看主阀周围的痕迹，如果有油迹果断停机维护。
2，扩散泵冷却不好，扩散泵油被抽走了，这种状况下需要维护扩散泵冷却水，也要停机的。

董***

2013-11-13 19:30:48

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