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电容位移传感器是所有传感器中精度最高的吗?

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电容位移传感器是所有传感器中精度最高的吗?

电容位移传感器是所有传感器中精度最高的吗?电子显微镜微调是选择此传感器吗?

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全部答案

    2016-09-23 15:08:14
  • 以德国米铱的capaNCDT6530系列为例,绝对误差能够达到0.1微米,静态分辨率达到0.0375纳米,动态分辨率达到1个纳米。但是使用条件要特别注意,比较严苛。

    唐***

    2016-09-23 15:08:14

  • 2016-09-23 09:11:05
  • 以德国米铱的capaNCDT6530系列为例,绝对误差能够达到0.1微米,静态分辨率达到0.0375纳米,动态分辨率达到1个纳米。但是使用条件要特别注意,比较严苛。

    残***

    2016-09-23 09:11:05

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