高精度激光位移传感器测量陶瓷薄膜厚度效果怎么样？50微米厚度的，精度要求1微米。
可以用对射试测厚，及采用两台ZLDS113激光位移传感器，上下对射，各自测量薄膜的两侧，即可得到厚度值了。分辨率可以达到1个微米。
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2017-10-12 17:49:00
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