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单频激光干涉仪调光步骤是什么?
水平轴测量光学器件的安装布局。(干涉镜或者反射镜移动,反射镜作移动光学元件的测量范围是40m,干涉镜作移动光学元件的测量范围是15m。)
安装直线度反射镜,在直线度反射镜的第二、四格分别安装好光靶,光靶上光孔的位置与光学直角尺的射出光线的位置相对应。
放置直线度反射镜,检测其顶面是否水平。在直线度反射镜中间刻度线处安装一光靶,光靶小光孔与干涉镜小光孔同侧,只调节直线度反射镜,使激光正对光靶小光孔。