什么是分凝现象?
什么是分凝现象?什么是分凝系数?
在硅熔体结晶的过程中,进人固体的杂质和留在硅熔体中的杂质,浓度不相同。这一现象就是分凝现象,又称为偏析现象。一般将进入固体的杂质浓度与留在硅熔体中的杂质浓度之比,称为分凝系数试验表明,各种杂质在硅中的分凝系数都不相同。 杂质对半导体有什么影响?实践证明,极微量的杂质和缺陷,能够对半导体材料的物理性质和化学性质产生决定性的影响,自然也影响半导体器件的质量。例如,硅中,以105 : 1的比例掺入B杂质,电导率增加103倍。也就是,硅中掺人十万分之一的B杂质,其电导率增加1000倍。缺陷的影响也是极大的,所以对一般的硅平面器件,要求位错密度在103Cm-2以下,超过该值,将影响半导体的电导率和劣化器件的性质。
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